1、萌芽（战国）：商鞅建立县制，百官服，从君主法令的封建官僚制度建立。
2、确立（秦朝）：一整套封建君主专制主义中央集权的政治制度的建立。（确立皇权的至高无上的皇帝制，中央三公九卿的官制，地方推行郡县制）。
3、巩固（西汉）：①汉景帝“削藩”平定七国三乱。②汉武帝颁布“推恩令”削夺王侯爵位，解决王国问题。③“罢黜百家，独尊儒术”加强思想专制，巩固了专制主义中央集权制度。
4、完善（隋唐）：①三省六部制，三省长官相当于宰相，相互牵制和制约，避免宰相的专权，又一定程度上牵制君主专制，是专制主义中央集权制度的进一步完善。②科举制，使门第不高的有才能的人参加到政权中来，扩大了统治阶级的基础。
5、加强（北宋）：采取“杯酒释兵权”将地方的行政、军事、财政权力收归中央，防止了地方割据局面的出现，加强了中央集权。
6、发展（元朝）：在中央设中书省，是全国最高行政机构，保证了中央统一政令的实行。在地方设“行省”实行行省制度，对后也影响深远。
7、强化衰落（明清）：明朝废丞相，形成君主独裁的局面，在地方废行省，设三司，进一步削弱地方势力，还遍设厂卫特务机构，实行八股取士，这是专制主义强化的突出表现。清朝沿用明制，后增设军机处，大兴文字狱，使君权空前加强，形成极端的君主专制统治，专制主义中央集权制达到顶峰。
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